ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевое оборудование и поставка запчастей
Четыре класса оборудования — травление, осаждение, ионные пучки и контроль — а также запчасти и расходные материалы для производства и НИОКР.
Фото оборудования будет добавлено
НАПРАВЛЕНИЯ ПОСТАВКИ
Пять направлений поставки
Поставка оборудования организована вокруг ключевых технологий: клиент быстро находит нужный класс по направлению процесса.
Плазменное травление
ICP-травление, глубокое травление кремния (DSE) и травление металлов для кремния, соединений A3B5 и металлов.
Осаждение плёнок
Установки PECVD и ICP-CVD: низкотемпературное осаждение, управление напряжением и заполнение канавок.
Ионные пучки
Ионно-лучевое формование (IBS), осаждение (IBD) и травление специальных плёнок.
Контроль загрязнений
Комплексы VPD и TXRF для мониторинга чистоты поверхности пластин.
Запчасти и расходные материалы
Поставка расходных элементов и запасных частей, поддержка восстановления и замены.
СЕРВИСНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ
Сервисные возможности
Четыре этапа — подбор, поставка, запчасти и технологическая поддержка — сопровождают оборудование весь жизненный цикл.
01
Подбор оборудования
Помогаем определить класс и конфигурацию по направлению процесса, материалам и размеру пластин.
02
Гарантия поставки
Организуем поставку оборудования и сопутствующих ресурсов, сопровождаем сроки и условия.
03
Поддержка запчастями
Поставка расходных элементов и запасных частей, восстановление и замена.
04
Технологическая поддержка
Поддержка верификации и оптимизации процессов после внедрения оборудования.
ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ГАЛЕРЕЯ
Обзор применений
Типовые операции и контроль четырёх направлений показаны технологическими схемами.
EQUIPMENT & PROCESS
Оборудование и технологические направления
Плазменное травление, осаждение плёнок, ионные пучки и контроль металлических загрязнений, а также запчасти, расходные материалы и технологическая поддержка.
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ · ICP / DSE / МЕТАЛЛЫ
Плазменное травление
Графическое травление кремния, соединений A3B5 и металлов: установки ICP, глубокого травления кремния (DSE) и травления металлов с технологической поддержкой.
- ICP-травление: графика кремния и соединений A3B5
- Глубокое травление кремния (DSE): структуры с высоким аспектным отношением
- Травление металлов: металлические линии и электроды
Фото оборудования будет добавлено
THIN FILM DEPOSITION · PECVD / ICP-CVD
Осаждение плёнок
Установки PECVD и ICP-CVD: низкотемпературное осаждение, управление напряжением плёнки и заполнение канавок.
- PECVD: осаждение диэлектрических плёнок
- ICP-CVD: низкотемпературное осаждение и заполнение канавок
- Управление напряжением и многослойные плёнки
Фото оборудования будет добавлено
ION BEAM · IBS / IBD
Ионные пучки
Ионно-лучевое формование (IBS), осаждение (IBD) и травление специальных плёнок для особых материалов и наноструктур.
- IBS: обработка наноструктур
- IBD: специальные плёнки
- Травление специальных плёнок: хрупкие и функциональные материалы
Фото оборудования будет добавлено
CONTAMINATION INSPECTION · VPD / TXRF
Контроль металлических загрязнений
Комплексы VPD и TXRF для мониторинга металлических загрязнений и чистоты поверхности пластин.
- Отбор проб методом парофазного разложения VPD
- TXRF: рентгенофлуоресцентный анализ полного отражения
- Процедуры мониторинга чистоты поверхности
Фото оборудования будет добавлено
ЗАПЧАСТИ И РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Запчасти и расходные материалы
После поставки оборудования запчасти и расходники — ключевое звено непрерывной работы линии.
01
Поставка расходников
Расходные элементы для оборудования травления и осаждения.
02
Поставка запчастей
Ключевые запчасти и координация запасов сокращают простой.
03
Восстановление и замена
Восстановление и замена изношенных узлов продлевают срок службы.
НАЧНЁМ ОБСУЖДЕНИЕ
Расскажите о вашем процессе и оборудовании
Укажите направление процесса, материалы и размер пластин — мы предложим подбор и план поставки.