ICP · DSE · ТРАВЛЕНИЕ МЕТАЛЛОВ

Плазменное травление

Установки ICP, глубокого травления кремния (DSE) и травления металлов для кремния, металлов и соединений A3B5; конфигурации для НИОКР и производства на пластинах 8/12 дюймов.

Возможности процесса →Связаться →

Фото оборудования будет добавлено

ОБЗОР ОБОРУДОВАНИЯ

Подбор установки под ваши материалы и процесс

Плазменное травление переносит рисунок в материал и является одним из ключевых этапов переднего края производства и передовой упаковки.

Материалы: Кремний, металлы, соединения A3B5
Размер пластин: 8 дюймов / 12 дюймов
Конфигурация: НИОКР (одна камера) / автоматизация производства

Конфигурация выбирается по материалу, размеру пластин и производительности: для НИОКР важнее гибкость настройки процесса, для производства — автоматизация и повторяемость.

Фото оборудования будет добавлено

ТЕХНОЛОГИЯ И ДАННЫЕ

О процессе

Индуктивно-связанная плазма (ICP) анизотропно удаляет материал по рисунку маски высокой плотностью плазмы: быстрое травление, высокая селективность, малые повреждения; поддерживаются кремний, металлы и соединения A3B5. Глубокое травление кремния использует импульсный процесс Боша для структур с высоким аспектным отношением. Травление металлов формирует электродные слои алюминия и других металлов.

Атлас процессов

Схема сечения канавки ICP-травления — Сечение канавки ICP: крутые стенки, высокая точность переноса рисунка

Схема сечения глубокой канавки ICP — Сечение глубокой канавки ICP: маска сохранена, высокая селективность

Схема сечения пары широких канавок — Сечение пары широких канавок: равномерность и контроль ширины линий

Схема сечения глубокого травления кремния — Канавка глубокого травления кремния: процесс Боша даёт высокое аспектное отношение

Схема сечения массива металлических линий — Массив металлических линий: графика алюминиевых электродов

Схема сечения массива наностолбиков — Массив наностолбиков: структуры суб-100 нм

НАЧНЁМ ОБСУЖДЕНИЕ

Нужен подбор установки ICP-травления?

Укажите материалы, целевые структуры и размер пластин — мы предложим конфигурацию и план поставки.

Связаться →