IBS · IBE

Ионные пучки

Ионно-лучевое формование (IBS) и ионно-лучевое травление (IBE) для наноструктур и специальных плёнок; конфигурации для НИОКР и производства.

Возможности процесса →Связаться →

Установка ионно-лучевого формования (IBS)

ОБЗОР ОБОРУДОВАНИЯ

Для точной обработки и плёнок

Ионно-лучевые технологии формируют наноструктуры и высокоточные плёнки для особых материалов и передовых приборов.

Направления: Формование (IBS) и травление (IBE)
Размер пластин: 4/6/8 дюймов
Конфигурация: НИОКР (одна камера) / автоматизация производства

Конфигурация выбирается вокруг задач формования и травления с учётом материала, размера пластин и производительности.

Установка ионно-лучевого травления (IBE)

ТЕХНОЛОГИЯ И ДАННЫЕ

О процессе

IBS вытягивает и ускоряет положительные ионы из источника, распыляя поверхность образца и формируя микро- и наноструктуры; обрабатываются металлы, сплавы, оксиды и соединения, энергия и плотность пучка регулируются независимо, поддерживается наклонное падение. IBE направленно распыляет замаскированную пластину инертным ионным пучком: чисто физический процесс без химии даёт крутые профили на металлах, диэлектриках и трудно травмируемых соединениях — для магнитной памяти, сверхпроводящих схем, пьезо- и оптоэлектронных материалов. Травление специальных плёнок объединяет реактивное ионное травление с ионным пучком для материалов с труднолетучими продуктами, например магнитных многослойников.

Атлас процессов

Схема сечения наклонных столбиков — Сечение наклонных столбиков: формование под наклонным падением пучка

Схема сечения трапецеидальных столбиков — Сечение трапецеидальных пар: контроль профиля магнитных переходов

Схема массива цилиндрических столбиков — Массив цилиндров: равномерное формование пучком

TEM-сечение массива столбиков — TEM-сечение массива: целостность многослойных плёнок

Данные процессов

Карта распределения элементов EDS — Карта элементов EDS: анализ состава магнитных многослойников

НАЧНЁМ ОБСУЖДЕНИЕ

Нужен подбор ионно-лучевой установки?

Укажите материалы, целевые структуры и размер пластин — мы предложим конфигурацию и план поставки.

Связаться →